在很多THZ应用中都要求对光束进行处理。目前常采用的的方法是抛物柱面镜和衍射光学元件。尽管衍射光学元件是最近才开始采用的，但是仍有不少人采用，因为它可以实现THZ波的空间分布的改变。

为了满足THZ波段的衍射需求，我们提供下列衍射光学元件（DOE）：
- THz Fresnel 透镜
- THz 光束分配器

主要参数:

*衍射效率是某个衍射级的衍射光和入射光的比例。我们的衍射元件可以实现达到96%的衍射效率。

THz Fresnel 透镜

Fresnel透镜是的衍射元件，用以聚焦单设THz波。该透镜不像其他衍射透镜一样会产生球差。

衍射透镜有两个焦距：一个主焦距，一个次焦距。主焦距I1/I的衍射效率是40%，次焦距I2/I的衍射效率<3.6%,这个已经在实验中得到了证明。用自由电子激光器作光源，矩阵探测器来探测的实验已经证明了这一点。

生产焦距从100mm甚至更长的透镜是有可能的，焦距的公差是5%。

我们可以用公式X=1.22*λ*F/D 来计算Airy disk的尺寸，这里λ是波长，F是焦距，D是光学直径。

THz 光束分配器

光束分配器可以把入射波改变成特定功率空间分布的几个电磁波。（+1和-1级）衍射效率为40(+/-2)%，其他的<5%.衍射角可以从20度到80度。